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一种立体集成电感，其特征在于：包括衬底层、二氧化硅介质层和单方向绕行立体螺旋的金属线圈；　　　　所述的二氧化硅介质层设置在衬底层上；所述的底层平行金属线设置在衬底与二氧化硅介质层之间，顶层平行金属线设置在二氧化硅介质层上；　　　　所述的金属...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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