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一种在γ－ＬｉＡｌＯ↓［２］单晶衬底上制备ＺｎＯ单晶薄膜的方法，包括如下具体步骤：〈１〉将清洗的双面抛光或单面抛光的γ－ＬｉＡｌＯ↓［２］衬底及纯度优于９９．９９％的ＺｎＯ单晶或多晶靶材送入脉冲激光淀积系统；〈２〉将腔内抽成高真空，真空度≥...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种在γ－ＬｉＡｌＯ↓［２］单晶衬底上制备ＺｎＯ单晶薄膜的方法，包括如下具体步骤：〈１〉将清洗的双面抛光或单面抛光的γ－ＬｉＡｌＯ↓［２］衬底及纯度优于９９．９９％的ＺｎＯ单晶或多晶靶材送入脉冲激光淀积系统；〈２〉将腔内抽成高真空，真空度≥...