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提供一种晶片制备模组。此晶片制备模组具有包括晶片啮合滚筒的一容室。在制备期间，将晶片啮合滚筒定位于一角度并设计为以一角度旋转一晶片。...
该专利属于兰姆研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兰姆研究有限公司授权不得商用。

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