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一种非接触式电场测量传感器制造技术
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下载一种非接触式电场测量传感器的技术资料
文档序号:32018192
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本发明公开了一种非接触式电场测量传感器,包括压敏电阻器、半导体薄膜、玻璃层、压电材料晶体和基底,所述压敏电阻器设置在半导体薄膜上,所述压电材料晶体内嵌于玻璃层中,所述玻璃层设有空气穴,所述基底上设有压电材料晶体和玻璃层。通过使用本发明,可以...
该专利属于佛山科学技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过佛山科学技术学院授权不得商用。
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