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发光二极管元件制造技术
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文档序号:3201720
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本发明涉及一种发光二极管元件,其是在基板表面先成长一n-GaN层,并于此n-GaN的表面成长SiO↓[2],且利用黄光微影制程,将台面区域的n-GaN露出,再将此晶片经MOCVD于台面区域外延成长发光二极管结构,利用选择性区域成长氮化镓外延...
该专利属于璨圆光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过璨圆光电股份有限公司授权不得商用。
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