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一种对非晶硅薄膜样品进行加工以制造大晶粒并且晶粒边界受控的硅薄膜方法和系统。薄膜样品包括第一边缘和第二边缘。具体说来，采用该方法和系统，使用准分子激光器来提供脉冲激光束，并且屏蔽脉冲激光束以产生图案子光束，每一图案子光束具有足以使薄膜样品融...
该专利属于纽约市哥伦比亚大学托管会所有，仅供学习研究参考，未经过纽约市哥伦比亚大学托管会授权不得商用。

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