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文档序号:3201401
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本发明旨在提供一种蚀刻方法,其允许从微细蚀刻孔中以足够的速率蚀刻并除去牺牲层,由此可形成具有大中空部分或复杂构造的空间部分的结构,以及具有高纵横比且具有优异形状准确性、并不使表面状态变差的结构。在蚀刻方法中,使工件暴露于含有蚀刻反应物的处理...
该专利属于索尼株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过索尼株式会社授权不得商用。
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