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本发明涉及一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，包括MEMS支架、安装在MEMS支架上的一维MEMS振镜、中空的旋转底盘、位于电机内的环形磁铁以及位于电机下方的半透半反镜、激光准直镜、激光器、激光接收器和激光接收聚焦镜，所述一维MEMS振...
该专利属于上海市激光技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海市激光技术研究所授权不得商用。

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