下载芯片及使用该芯片的多芯片半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3201204

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提出了用于多芯片半导体器件的芯片及其制造方法,该芯片具有仅仅通过从芯片的前表面的处理(光刻,刻蚀)在芯片的前表面和/或后表面上形成的用于对准的标记,而不增加任何专用的工艺步骤到用于对准的标记的形成工艺。在用于多芯片半导体器件的单个芯片中具有...
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