下载一种空心微针阵列芯片的技术资料

文档序号:32010479

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本实用新型提供一种空心微针阵列芯片,包括:基板,所述基板包括相对的正面和背面;微针,所述微针位于所述基板的正面,所述微针包括针尖、针孔和针面,所述针面向所述基板倾斜设定角度;沟槽,所述沟槽位于所述微针外周且半包裹所述微针;导流槽,所述导流槽...
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