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本发明公开了投影系统、空间光调制器和形成ＭＥＭＳ器件的方法。该空间光调制器可以具有结合在一起的两个衬底，其中一个衬底包括一个微镜阵列。在这两个晶片上或其中之一上沉积了吸气剂材料和／或固体或液体润滑剂后，这两个衬底可以在晶片级上结合。如果需要...
该专利属于反射公司所有，仅供学习研究参考，未经过反射公司授权不得商用。

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