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中国科学院固体物理研究所
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氧化铟薄膜材料及制备方法技术
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文档序号:3200633
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本发明公开了一种氧化铟薄膜材料及制备方法。材料包括衬底,特别是衬底上覆有单层或多层氧化铟球形孔构成的薄膜,氧化铟球形孔的直径为100~5000nm,薄膜的厚度为50nm~100μm;方法包括用旋涂法或垂直提拉法将胶体球附于衬底表面而形成模板...
该专利属于中国科学院固体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院固体物理研究所授权不得商用。
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