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具有应力吸收半导体层的半导体组件及其制造方法技术
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文档序号:3200512
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本发明乃涉及一种具应力吸收半导体层(SA)之半导体组件及其制造方法,产生机械应力的一结晶性应力产生层(SG)乃形成于载体材料(1)上。传送已产生的机械应力至应力吸收半导体层(SA)的绝缘应力传送层(2)乃形成于该结晶性应力产生层(SG)的表...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。
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