下载一种痕量气体检测设备测试工装和样品配制方法的技术资料

文档序号:32004966

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本发明提供一种痕量气体检测设备测试工装和样品配制方法,测试工装包括测试台、样品腔、气路系统和真空泵组,样品腔上安装有真空计、第一电磁阀,且两侧与测试设备连接;气路系统包括并联的样品气通道、稀释气通道、排气通道和漏孔进样通道;样品气通道与稀释...
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