下载表面纹理结构与一种最小化和局部化晶格常数及热涨系数失配的方法的技术资料

文档序号:3200323

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晶格常数和热涨系数的失配是半导体器件(包括半导体发光二极管LED)中的重要问题之一。本发明揭示:(1)在生长衬底的表面上制备表面纹理结构,以便在表面纹理结构上生长高质量的外延层;(2)在所述的外延层的表面上制备表面纹理结构,以便在表面纹理结...
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