专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
国际商业机器公司
>
低介电常数半导体器件及其制造方法技术
>技术资料下载
下载低介电常数半导体器件及其制造方法的技术资料
文档序号:3199946
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种制造低介电常数半导体的方法,包括以下步骤:在衬底上沉积第一金属层;构图第一金属层,以形成构图的第一金属布线;在构图的第一金属布线上施加第一绝缘材料以形成支撑结构;通过接触印刷工艺构图第一绝缘材料;在支撑结构上沉积较低介电常数的第二绝缘材...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。