下载低介电常数半导体器件及其制造方法的技术资料

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一种制造低介电常数半导体的方法,包括以下步骤:在衬底上沉积第一金属层;构图第一金属层,以形成构图的第一金属布线;在构图的第一金属布线上施加第一绝缘材料以形成支撑结构;通过接触印刷工艺构图第一绝缘材料;在支撑结构上沉积较低介电常数的第二绝缘材...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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