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一种带有抗蚀膜的基板的制造方法，在使抗蚀剂的涂覆膜（２１ａ）的膜厚形成为规定的厚度，并且在可以调整的范围内调整液面高度Ｈ、毛细管状间隙间隔Ｔ、涂覆喷嘴（２２）和被涂覆面（１０ａ）的相对扫掠速度Ｖ，从而增大涂覆间隙Ｇ。由此，即使在使用通称为“...
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