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一种用于基材的化学机械研磨程序的承载体（ｃａｒｒｉｅｒ　　ｈｅａｄ，或称承载头），其包括一基底与一个延伸在基底下方的弹性膜。该弹性膜包括一个具有一外表面的中心部位，以提供一基材接收表面；一边缘部位，以连接该中心部位与该基底；以及至少一个由该...
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