下载用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置的技术资料

文档序号:31989187

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本实用新型涉及臭氧发生器技术领域,特别涉及用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置,包括主体以及有序填充或无序填充于所述主体的内腔的钢丝;所述主体具有与所述内腔相连通的进气端、出气端和出水端;所述出水端上设置有用于启闭所述出水端的阀门。本实用新...
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