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薄膜晶体管及其制造方法、电路、显示装置和电子机器制造方法及图纸
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文档序号:3198839
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本发明提供一种驱动电压低并具有高的晶体管特性的薄膜晶体管,该薄膜晶体管的制造方法,可靠性高的电路、显示装置和电子机器。本发明的薄膜晶体管(1)通过基底层(9)在基板(2)上设置栅电极(3),再设置栅绝缘层(4)以覆盖栅电极(3)。在该栅绝缘...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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