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结晶膜以及利用激光制造结晶膜的方法技术
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下载结晶膜以及利用激光制造结晶膜的方法的技术资料
文档序号:3198562
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一种多晶膜制造方法,包括以下步骤: (a)制备一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件; (b)向该薄膜施加脉冲激光束,以将该薄膜熔融,该脉冲激光束在该薄膜表面上沿一个方向具有细长形光束截面,之后使该薄膜凝固,以在沿光束入射区...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。
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