下载结晶膜以及利用激光制造结晶膜的方法的技术资料

文档序号:3198562

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一种多晶膜制造方法,包括以下步骤:    (a)制备一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件;    (b)向该薄膜施加脉冲激光束,以将该薄膜熔融,该脉冲激光束在该薄膜表面上沿一个方向具有细长形光束截面,之后使该薄膜凝固,以在沿光束入射区...
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