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使用覆盖层的无定形材料相变方法技术
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下载使用覆盖层的无定形材料相变方法的技术资料
文档序号:3198559
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无定形材料的相变方法,包括以下步骤: 在电介质衬底上沉积无定形材料; 在无定形材料上形成覆盖层; 在覆盖层上沉积金属;和 对无定形材料进行相变。...
该专利属于张震所有,仅供学习研究参考,未经过张震授权不得商用。
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