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本发明有关一种紫外线清洗装置，用于物体表面清洗及改性，其特征在于：包括反应室、设置于反应室的用于承载物体的工作台，反应室内具有一个或多个紫外线放电管，放电管可以放射出波长２８０ＮＭ以下的紫外线，反应室的一侧具有出气口并与导气管相连以将反应室...
该专利属于上海国达特殊光源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海国达特殊光源有限公司授权不得商用。

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