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本发明公开一种长出风嘴铡刀式超薄风刀,包括:缓冲体、风刀体、两盖板;所述缓冲体包括:固定部、两侧封部、两上封部,所述固定部与两侧封部、两上封部围成缓冲腔;所述风刀体包括:两侧刀部、两刀体部,所述侧刀部包括:侧刀板、导流板,所述的两侧刀部围成...该专利属于迈达微(深圳)半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈达微(深圳)半导体技术有限公司授权不得商用。
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