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本发明描述了一种在半导体装置中提供至少一个接触的方法及系统。该半导体装置包括基片（２０１）、蚀刻终止层（２４０）、在蚀刻终止层（２４０）上的层间电介质（２５０）、在层间电介质（２５０）上的消反射涂层（ＡＲＣ）（２６０）以及在蚀刻终止层（２４...
该专利属于斯班逊有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯班逊有限公司授权不得商用。

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