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多功能超宽谱光学真空系统技术方案
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文档序号:31979491
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本发明揭示了一种多功能超宽谱光学真空系统,系统整体设置于支撑台架上,包括超高真空腔体,其外周侧开设有多个连接法兰口;超高真空腔体的一侧桶壁借助连接有快速进样腔、另一侧桶壁上设置有两组光学窗口组件、顶侧桶壁连接有两台重载型中空Z轴线性驱动器;...
该专利属于苏州华杨科学仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州华杨科学仪器有限公司授权不得商用。
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