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含氮化金属层集成电路装置的制造方法及集成电路装置制造方法及图纸
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文档序号:3197929
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一种集成电路装置(10)的制造方法,其中以下步骤是被执行: 被中介层(12)覆盖的初始金属化层(12,18)是被制造, 绝缘层(20)是于该初始金属化层(18)制造之后被敷设, 该绝缘层(20)是使用干式蚀刻程序图案化形成...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。
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