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集成电路系统及其形成方法及用于形成存储器阵列的方法技术方案
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文档序号:31978015
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本申请涉及一种集成电路系统及其形成方法及用于形成存储器阵列的方法。一种用于形成集成电路系统的方法包括形成包括竖直交替的第一层和第二层的堆叠。所述第一层包括掺杂二氧化硅,且所述第二层包括未掺杂二氧化硅。将水平拉长的沟槽形成到所述堆叠中。穿过所...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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