下载一种氮化镓基高电子迁移率晶体管的技术资料

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一种氮化镓基高电子迁移率晶体管,属于半导体器件领域,包括衬底上依次形成的成核层、GaN层和势垒层,以及势垒层上的源极、栅极和漏极,其中源极、漏极与势垒层形成欧姆接触,栅极与势垒层形成肖特基接触,其特征是,它还包括一层位于势垒层上、栅极和漏极...
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