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一种防护胶膜框架以及使用该框架的光刻用防护胶膜组件，其不仅能借由防护胶膜膜片的张力防止框架向内侧弯曲，使曝光面积减少，亦能得到尺寸精确度以及对光罩的贴附位置精确度良好的防护胶膜组件。本发明的框架，其特征为于框体至少一对的边，具有中央部分为朝...
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