下载包含衬层结构的半导体器件的技术资料

文档序号:3196837

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本发明揭示了一种包含改进的衬层结构的半导体器件,该衬层结构形成在通路孔(5)中,该通路孔具有穿入金属线(7)的延伸的侧壁部分和底面(8)。该衬层结构包括两衬层,第一衬层(6)存在于通路孔侧壁上,但不存在于底面上,和第二衬层(9)位于第一衬层...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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