下载一种纳米栅的制备方法、纳米栅及应用的技术资料

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本发明提供了一种纳米栅的制备方法,还提供了通过该方法制备的纳米栅和应用。本发明的方法可以简化纳米尺度的栅的制备,精确控制栅长尺寸,并实现纳米栅器件的制备,进而提升电子器件的性能。子器件的性能。子器件的性能。
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该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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