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本实用新型涉及一种有机溶剂无气泡供应系统，属于芯片制造技术领域。该系统包括压力容器，压力容器的顶端贯穿形成容器口，压力容器的下部设置有出液口；顶盖，顶盖盖合在容器口处，顶盖的中心位置开设有通孔；滚珠丝杠，转动插装于通孔；旋转驱动机构，安装在...
该专利属于沈阳芯达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯达科技有限公司授权不得商用。

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