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双极型器件制造技术
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文档序号:3196117
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一种增加双极型器件内的电荷载流子迁移率的方法,包括以下步骤:在该器件中产生压缩应变,以增加该器件的固有基极中的空穴迁移率;在该器件中产生拉伸应变,以增加该器件的固有基极中的电子迁移率。通过靠近该器件的固有基极形成应力层来产生该压缩应变和拉伸...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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