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纳米级晶粒的制造方法及其应用技术
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文档序号:3195987
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一种制作纳米级晶粒的方法,其可应用于内存器件和太阳能电池的制程中。该制作纳米级晶粒的方法至少包括以下步骤:首先,提供基板,并在基板上形成薄膜,薄膜的厚度等于或小于约50*。接着,对薄膜施以激光退火处理,且该激光的波长等于或小于约500nm,...
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