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本发明公开了一种用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法，即利用等离子体辅助分子束外延（Ｐ－ＭＢＥ）设备，分三个步骤原位处理蓝宝石衬底，从而为高质量氧化锌薄膜的制备提供一个良好的生长模板的方法。首先在低温下对衬底进行氧等离子体处理，...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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