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一种微悬臂梁的品质因数控制系统，它包括正反馈环路模块和锁相环路模块。其中，正反馈环路模块，它包括一个可变增益放大器、一个可变移相器以及一个加法器，用于增加微悬臂梁的品质因数，并输出Ｆ↓［１］＝Ｆ↓［０］ｅ↑［ｉωｔ］到压电驱动器，将调制过的...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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