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半导体元件制造技术
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文档序号:3194320
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本发明公开了一种半导体元件。在本发明的半导体元件中,设置在碳化硅基板上的n型碳化硅层,具有从(0001)面朝着[11-20]方向切割(offcut)的上面。并且,在沟道区域中,将栅电极和源电极设置成以沿切割(offcut)方向流动的电流为主...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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