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文档序号:3194167

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在薄膜晶体管(1)中,在绝缘性基板(2)上的栅电极(3)上,经由栅极绝缘层(4)层叠半导体层(5),在其上面形成源电极(5)和漏电极(7),进而形成将其上面覆盖的保护层(8),使半导体层(5)与气氛隔离。半导体层(5)(活性层)采用例如添加...
该专利属于夏普株式会社;大野英男;川崎雅司所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社;大野英男;川崎雅司授权不得商用。

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