下载负压式吸附平台的气路切换机构的技术资料

文档序号:31940547

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本申请提供了一种负压式吸附平台的气路切换机构,该切换机构包括平台主体、挡风板以及挡风板驱动机构;平台主体内设有若干气腔,气腔的底部设有出风口,与该气腔对应的负压发生器设有进风口;挡风板位于进风口和出风口之间,挡风板上设有控制通孔,驱动机构驱...
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