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利用自对准后栅极控制前栅极绝缘体上硅MOSFET的器件阈值制造技术
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下载利用自对准后栅极控制前栅极绝缘体上硅MOSFET的器件阈值的技术资料
文档序号:3193034
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本发明提供了SOI CMOS技术,利用该技术将多晶硅后栅极用于控制前栅极器件的阈值电压,并且nMOS和pMOS后栅极彼此和与所述前栅极无关地切换。具体地说,本发明提供了一种制造后栅极型完全耗尽的CMOS器件的方法,其中所述器件的后栅极与所...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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