下载一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构的技术资料

文档序号:31930262

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本实用新型公开了一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构,涉及真空镀膜技术领域,为解决现有的回转机构通常悬置于镀膜设备内部,导致安装的不够稳定,长时间使用后其旋转时稳定性较差的问题。所述转盘的上方安装有支撑杆,所述支撑杆的上方安装有保持架,所述...
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