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一种紫外线检测装置制造方法及图纸
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下载一种紫外线检测装置的技术资料
文档序号:3191877
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一种紫外线检测装置,包括如下的结构:一蓝宝石基底层;一高温氮化铝缓冲层,生长在该蓝宝石基底层之上;一中温氮化镓缓冲层,生长在该高温氮化铝缓冲层之上;一氮化镓外延层,沉积在该中温氮化镓缓冲层之上;一肖特基结层,形成在该氮化镓外延层之上;多个电...
该专利属于香港理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过香港理工大学授权不得商用。
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