下载垂直结构的非极化的氮化镓基器件及侧向外延生产方法的技术资料

文档序号:3191858

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本发明揭示垂直结构的非极化的氮化镓基器件(包括氮化镓基LED)及生产方法。一个实施实例如下:反射/欧姆/应力缓冲层层叠在导电的支持衬底和非极化的氮化镓基外延层之间。生产方法的主要工艺步骤如下:在生长衬底上,依次生长中间媒介层(或晶核层)、非...
该专利属于金芃;彭晖所有,仅供学习研究参考,未经过金芃;彭晖授权不得商用。

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