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本实用新型涉及芯片制造技术领域，公开了一种新型退火炉，包括烤箱本体，烤箱本体包括箱体、封盖于箱体上的箱门以及将箱门转动连接在箱体上的第一转轴，箱体内靠近箱底的一侧设有用于吸附晶圆的吸盘，吸盘上开设有多个吸附孔，吸盘上设有与所有吸附孔连通的吸...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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