下载键合层消失的间接键合的技术资料

文档序号:3191351

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本发明提供一种制备包含支撑衬底(20)上的半导体材料薄层(2”)的结构的方法,所述薄层(2”)是由包含半导体材料上层(2)的施予衬底(10)而获得,所述方法的特征在于其包括:在所述上层(2)上形成键合层(3),所述键合层(3)的材料接受上层...
该专利属于S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司授权不得商用。

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