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具有三个电气隔离的电极的晶体管及形成方法技术
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下载具有三个电气隔离的电极的晶体管及形成方法的技术资料
文档序号:3191142
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形成了一种晶体管(10),其具有三个分离可控的栅极(44、42、18)。这三个栅极区域可进行不同的电气偏置,并且该栅极区域可以具有不同的传导属性。沟道侧壁上的介质可以不同于沟道上面的介质。选择性地实现针对源极、漏极和三个栅极的电接触。通过包...
该专利属于飞思卡尔半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过飞思卡尔半导体公司授权不得商用。
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