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本发明提供一种灰色调掩模的缺陷校正方法。用于对灰色调掩模的灰色调部的缺陷进行校正，该灰色调掩模具有遮光部（１）、透光部（２）、以及成为形成了在使用灰色调掩模的曝光机的极限分辨率以下的遮光图形（３ａ、３ｂ）的区域并以通过减少透过该区域的光的透...
该专利属于HOYA株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过HOYA株式会社授权不得商用。

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