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一种具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法，包括：ａ）形成一多晶硅岛于一基板上；ｂ）依序形成一介电层、一金属层与一覆盖层，覆盖于多晶硅岛上；ｃ）形成一光阻图案层于覆盖层上，并将未被光阻图案层覆盖的部分覆盖层及金属层移除，且被保留...
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