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薄化晶片的方法技术
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文档序号:3189612
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首先,提供一晶片,且该晶片包括一正面与一背面。接着提供一承载晶片,并利用一接合媒介将该晶片的该背面与该承载晶片接合。随后进行一晶片薄化工艺,自该晶片的该正面薄化该晶片。最后去除该接合媒介以分离该晶片与该承载晶片。...
该专利属于探微科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过探微科技股份有限公司授权不得商用。
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